レジスト

現像室

整面

イラスト:下矢印

ゴミ取りローラー

塗布

解説

水平式連続両面スプレーコータ
液状のレジストインクをエアー霧化式スプレーにより、搬送方向と直交する軸上をスキャニングしながらコーティングする装置です。表面塗布後は、自動的に基板を反転させ裏面も塗布します。

用語

  • スプレーコータ
    レジストインクを霧状にして塗布する装置です。

写真:レジスト作業
イラスト:下矢印

仮乾燥

レジストインク内の溶剤を除去させます。

イラスト:下矢印