水平式連続両面スプレーコータ
液状のレジストインクをエアー霧化式スプレーにより、搬送方向と直交する軸上をスキャニングしながらコーティングする装置です。表面塗布後は、自動的に基板を反転させ裏面も塗布します。

• スプレーコータ
  レジストインクを霧状にして塗布する装置です。
  

レジストインク内の溶剤を除去させます。

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