パターンニング(外層)

現像室

整面

イラスト:下矢印

クリーンルーム

感光性ドライフィルム

フィルム化した感光性レジストのことです。ポリエステルフィルムとポリエチレンフィルムに挟まれたサンドイッチ構造をしています。

イラスト:ドライフィルムの構造 ポリエチレン保護フィルム 感光性樹脂 ポリエステル指示フィルム

銅メッキでスルホールを形成後、感光性のドライフィルムを貼り付けます。スルホールメッキを保護するためでもあります。

イラスト:感光性ドライフィルム(メッキ後→ドライフィルム後)
イラスト:下矢印

露光

フィルムと基材を密着させ、紫外線で露光します。

イラスト:感光性ドライフィルム(メッキ後→ドライフィルム後)
イラスト:下矢印

現像室

現像

     未露光部分を膨潤剥離します。

イラスト:感光性ドライフィルム(メッキ後→ドライフィルム後)